发明名称 半导体封装件及其制法
摘要 一种半导体封装件及其制法,系在一金属载具上敷设一第一阻层,并于该第一阻层中开设多数贯穿之开口,以于该开口中形成导电金属层,接着移除该第一阻层,并于该金属载具上具导电金属层之一侧覆盖一介电层,且令该介电层形成有盲孔(blind via)以露出部分导电金属层,再于该介电层上形成导电线路及于该盲孔中形成导电柱,以使该导电线路透过该导电柱而电性连接至该导电金属层,俾供该导电线路及导电金属层利用导电柱与该介电层有效接合,避免知脱层问题,再者该介电层中仅形成小尺寸之盲孔,以避免知形成大尺寸开口所造成制程不便及成本增加问题,之后将至少一晶片电性连接至该导电线路,且形成一包覆该晶片及导电线路之封装胶体,及移除该金属载具,进而形成毋需晶片承载件之半导体封装件。
申请公布号 TWI389220 申请公布日期 2013.03.11
申请号 TW096139467 申请日期 2007.10.22
申请人 矽品精密工业股份有限公司 台中市潭子区大丰路3段123号 发明人 李春源;黄建屏;赖裕庭;萧承旭;柯俊吉
分类号 H01L21/50;H01L23/28 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人 陈昭诚 台北市中正区博爱路35号9楼
主权项
地址 台中市潭子区大丰路3段123号