静电吸附电极及处理装置

摘要

本发明之课题;提供一种防止静电吸附电极之气体流路中之异常放电，同时即使万一气体流路发生异常放电时，也可轻易修理的静电吸附电极。;本发明之解决手段;静电夹5，系具有由可互相分离之第1基材30与第2基材31所构成的组合构造。分别在第1基材30上之介电质材料膜8内埋设电极6a，在第2基材31上之介电质材料膜8内埋设电极6b。在组合第1基材30与第2基材31之状态下，两者之间系包围第1基材30周围地来形成空隙，此空隙功能为供给导热气体的气体供给细缝9c。