用于原子力显微镜或奈米微影术之探针、原子力显微镜、以及自具有奈米特征图案之样本之扫描区域中收集影像资料的方法

摘要

本发明提供一种用于原子力显微镜之探针22，其被调适成于扫描一样本14时会经历一偏压力Fdirect以驱策该探针使其朝该样本移动。此可改良该样本表面的探针追踪效果，并可快速扫描。藉由于该探针22上包含一响应外力的偏压元件24、50与/或降低一支撑梁之品质系数即可加以达成。举例而言，该偏压元件可为一磁铁24或一导电元件50。该品质系数可藉由以一机械能量散逸材料来涂覆该梁加以降低。