互连结构与其制造方法

摘要

一种镶嵌线路(damascene wire)及形成该线路的方法。该方法包括：在一介电层的顶面上形成一罩幕层；于该罩幕层中形成一开孔；于未被该罩幕所保护的该介电层中形成一沟渠；使位于该罩幕层下的多个该沟渠侧壁凹陷；于该沟渠之所有暴露面及该罩幕层上形成一共形导电内衬层；以一核心电性导体填满该沟渠；将该导电内衬层延伸超出该核心导体顶面的部分移除。该结构包含一包覆在一导电内衬层中的核心导体以及一导电覆盖层，其中该导电覆盖层与该核心导体未被该导电层所覆盖的顶面接触。