提供大电流与电压位准量测之悬臂式探针结构

摘要

一种提供大电流与电压位准量测之悬臂式探针结构，系包括复数个不同针径的探针，并对应于待测试晶片的同一测试点，而该测试点可为待测试晶片的焊垫或凸块，用以传送待测试晶片的输入电气信号或输出电气信号，相邻探针间具有间隙，用以间隔开，或每一探针被绝缘材料层包覆，用以形成电气绝缘，藉以避免相邻探针之间发生短路，由针径较大的探针传送高电流或高功率信号，而针径较小的探针传送低电流或低功率信号以进行精确的电压位准之量测，藉以防止探针损坏，提高晶片测试的电流或功率范围并同时改善电压位准量测的精确度。