多重干涉位移量测系统

摘要

一种多重干涉位移量测系统，其包含有一光源、一干涉仪组及一讯号处理组，该干涉仪组系设有一固定镜、一分光镜及一移动镜，该固定镜系接收光源且在背向光源的后侧面局部涂布一反射膜，该分光镜系与固定镜后侧面相固设结合，该移动镜系为一用以接收固定镜及反射镜的透射及反射光束的角隅棱镜，该讯号处理组系用以接收干涉仪组的干涉条纹且设有一分光镜及两位移灵敏检测器，该分光镜系用以接收干涉条纹并将均分射入两位移灵敏检测器中，藉以进行干涉讯号的检测，藉以提供一可抗倾角及环境干扰且可准确检测之多重干涉位移量测系统者。