对准标记布局和对准标记结构

摘要

本发明之较佳实施例提供了一种对准标记布局，包含：一第一对准图案包含复数条相互平行的第一条状结构，第一对准图案设于一基底上，其中各条第一条状结构各包含一第一尺寸；以及一第二对准图案设于第一对准图案上并且与第一对准图案重叠，第二对准图案包含复数条相互平行的第二条状结构，其中各条第二条状结构各包含一第二尺寸，其中各条第二条状结构的第二尺寸大于各条第一条状结构的第一尺寸。