制程参数的监视方法

摘要

一种制程参数的监视方法，包括步骤如下：取得一正常参数变化曲线及一比较参数变化曲线；定义多数个正常参数点于该正常参数变化曲线上；定义多数个比较参数点于该比较参数变化曲线上；找寻每一个该正常参数点对应的最接近的该比较参数点；计算每一个该正常参数点与其对应的比较参数点之间的距离；将该些距离相加以得到一总距离值；以及判断该总距离值是否超过一限制值。藉此，当机台的制程参数出现异常时，其可有效及即时地判断出。