测试系统以及探针装置

摘要

本发明提供一种探针装置，该探针装置中包括：电路板，设置着多个端子；晶圆托盘，载置半导体晶圆，且以与电路板形成密闭空间的方式而设置；探针晶圆，设于电路板与晶圆托盘之间，且装置侧连接端子与电路板的端子电性连接，多个晶圆侧连接端子与各个半导体晶片一并电性连接；装置侧各向异性导电片，设于电路板与探针晶圆之间；晶圆侧各向异性导电片，设于探针晶圆与半导体晶圆之间；减压部，藉由对电路板与晶圆托盘之间的密闭空间进行减压，而使晶圆托盘靠近电路板，直至到达规定位置为止，且使电路板与探针晶圆电性连接，使探针晶圆与半导体晶圆电性连接。