处理基板之装置及处理基板之方法

摘要

一种用于处理基板之装置，包括：一基板载具、一施加化学品单元、以及一显影单元，其中基板载具用于传送该基板，施加化学品单元用于施加化学品于基板，而显影单元用于显影基板。