制造场效电晶体的方法

摘要

本发明提供一种制造场效电晶体的方法。场效电晶体于基板上包含源极、汲极、氧化物半导体层、绝缘层及闸极。此方法在形成绝缘层于氧化物半导体层之后包含一退火步骤，藉由在含有湿气的大气中退火，增加氧化物半导体层之导电性。退火步骤中的蒸气压高于退火温度下大气中的饱和水蒸气压。