| 摘要 |
Устройство формирования нанорисунка, содержащее катодно-анодную пару, установленную в вакуумной камере с возможностью подачи инертного газа, например аргона, отличающееся тем, что устройство дополнительно снабжено источником лазерного излучения для эмиттирования электронов из катода и двумя взаимно перпендикулярными парами управляющих конденсаторных пластин, установленными между катодом и анодом с возможностью взаимодействия с электронным и ионным пучками. |
