| 摘要 |
1. Установка плазменного нанесения покрытий для покрытия или обработки поверхности подложки (3) с рабочей камерой (2), которая является вакуумируемой и в которой может быть размещена подложка (3), и с плазменной горелкой (4) для создания плазменной струи (5) нагреванием технологического газа, причем плазменная горелка (4) имеет сопло (41), через которое плазменная струя (5) может выходить из плазменной горелки (4) и простираться вдоль продольной оси (А) в рабочей камере (2), отличающаяся тем, что ниже по течению от сопла (41) в рабочей камере (2) предусмотрено механическое ограничивающее приспособление (12), которое простирается вдоль продольной оси (А) и защищает плазменную струю (5) от бокового, нежелательного проникновения частиц.2. Установка плазменного нанесения покрытий по п.1, причем ограничивающее приспособление (12) расположено непосредственно ниже по течению от сопла (41) плазменной горелки (4).3. Установка плазменного нанесения покрытий по п.1, причем ограничивающее приспособление (12) выполнено в виде трубы, в частности металлической трубы.4. Установка плазменного нанесения покрытий по п.1, причем ограничивающее приспособление (12) выполнено в виде цилиндрической трубы, диаметр (Е) которой максимум в десять раз, в частности максимум в пять раз, превышает диаметр сопла (41) у его выходного отверстия.5. Установка плазменного нанесения покрытий по п.1, причем дополнительно предусмотрено инжекционное приспособление (11) для инжекции в плазменную струю (5) реакционноспособной текучей среды.6. Установка плазменного нанесения покрытий по п.5, причем инжекционное приспособление (11) содержит кольцеобразное инжекционное сопло (111), которое ра� |
