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Eine Ausrichtmarke (200, 250) zur Verwendung in integrierter Schaltungsherstellung, die Ausrichtmarke (200, 250) umfassend: eine erste Vielzahl Elemente (215) eines ersten Komponententyps, angeordnet auf einem Substrat, worin der erste Komponententyp eine erste Orientierung hat; und eine zweite Vielzahl von Elementen (217) eines zweiten Komponententyps, angeordnet auf dem Substrat, worin der zweite Komponententyp eine zweite Orientierung hat, worin die erste Orientierung und die zweite Orientierung im Wesentlichen orthogonal sind, worin benachbarte Elemente von verschiedenen Komponententypen sind worin die Elemente (215) der ersten Vielzahl und die Elemente (217) der zweiten Vielzahl alternierend ausgerichtet sind in vertikale Spalten (210, 220), und worin die Elemente (215) der ersten Vielzahl horizontal orientierte Subelemente enthalten, oder worin die Elemente (265) der ersten Vielzahl und die Elemente (267) der zweiten Vielzahl alternierend ausgerichtet sind in horizontale Reihen (260, 270), und worin die Elemente (265) der ersten Vielzahl vertikal orientierte Subelemente enthalten.
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