Silicium-enthaltende Beschichtungszusamnmensetzungen und Verfahren zur Verwendung

摘要

Beschichtungszusammensetzungen umfassen ein Polymer, umfassend (I), wobei R1 eine Silicium-enthaltende Einheit ist, R2 eine säurestabile Lactonfunktionalität ist und R3 eine säurelabile Lactonfunktionalität ist; X1, X2, X3 unabhängig H oder CH3 sind; und m und o von null verschiedene positive ganze Zahlen sind und n null oder eine positive ganze Zahl ist, die die Anzahl von Wiederholungseinheiten darstellen; einen Fotosäuregenerator; und ein Lösungsmittel. Ferner werden Verfahren zum Herstellen eines Musters in der Beschichtungszusammensetzung, welche dieses enthält, offenbart.