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Vorrichtung mit folgenden Merkmalen: einer Silizium-MEMS-Vorrichtung (100), die folgende Merkmale aufweist: – ein Resonanzelement (108), das konfiguriert ist, um sich simultan in einer ersten Bewegungsebene zu bewegen und in Resonanz zu befinden und in einer zweiten Bewegungsrichtung zu bewegen, die senkrecht zu der ersten Bewegungsebene ist; – eine Elektrode (106) mit einer einer ersten Seite des Resonanzelements (108) gegenüberliegenden wirksamen Fläche, die sich verändert, wenn sich das Resonanzelement (108) in der zweiten Bewegungsrichtung bewegt; und – einen Hohlraum (114), der einen Abstand (d) zwischen der Elektrode (106) und der ersten Seite des Resonanzelements (108) definiert, wobei sich der Abstand verändert, wenn sich das Resonanzelement (108) in der ersten Bewegungsebene in Resonanz befindet; einer Oszillatorschaltungsanordnung (122), die mit der Silizium-MEMS-Vorrichtung (100) gekoppelt ist und konfiguriert ist, um eine Referenzfrequenz, die durch die Silizium-MEMS-Vorrichtung erzeugt wird, zu extrahieren; und einer Einrichtung zum Erfassen der Änderung der...
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