发明名称 PHOTO-ETCHING PROCESS
摘要
申请公布号 US3576630(A) 申请公布日期 1971.04.27
申请号 USD3576630 申请日期 1967.10.30
申请人 NIPPON ELECTRIC CO. LTD. 发明人 TAKAYUKI YANAGAWA
分类号 G03F7/00;H01L21/00;H01L23/29;(IPC1-7):G03C5/00 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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