发明名称 NORMAL-TEMPERATURE BONDING DEVICE AND NORMAL-TEMPERATURE BONDING METHOD
摘要
申请公布号 KR20130023265(A) 申请公布日期 2013.03.07
申请号 KR20127031472 申请日期 2011.07.29
申请人 MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD. 发明人 TSUNO TAKESHI;GOTO TAKAYUKI;KINOUCHI MASATO;IDE KENSUKE
分类号 H01L21/02;B23K20/00 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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