一种测量痕量气体浓度的装置

摘要

本实用新型公开了一种测量痕量气体浓度的装置，涉及光电领域，用以解决现有测量痕量气体浓度技术的分辨率较低、测量精度较差，不能满足实际需求的问题。装置包括光学组件部分的激光器和在激光器射出的光路方向上依次设置的空间光束滤波器和样品池；空间光束滤波器包括两个聚焦透镜和位于两个聚焦透镜之间的针孔；样品池包括石英晶振和对称设置在石英晶振两侧的两个微谐振腔；电信号控制测量部分分别与激光器和石英晶振电连接；在测量之前采用校准模式对石英晶振进行校准；在测量时切换到测量模式，并根据石英晶振将声信号转化得到的电信号测量所述痕量气体浓度。

主权项

一种测量痕量气体浓度的装置，其特征在于，包括：光学组件部分和电信号控制测量部分；其中，所述光学组件部分包括：激光器，以及在激光器射出的光路方向上依次设置的空间光束滤波器和样品池，所述样品池中注入有痕量气体；所述空间光束滤波器包括两个聚焦透镜，以及位于所述两个聚焦透镜之间的针孔，光路从所述两个聚焦透镜和针孔内通过；所述样品池中包括石英晶振，以及对称设置在所述石英晶振两侧的两个微谐振腔，所述石英晶振和两个微谐振腔的轴心与光路同轴，所述石英晶振平面与光路相垂直，光路从所述两个微谐振腔内和石英晶振两振臂间通过；其中，所述电信号控制测量部分分别与激光器和石英晶振电连接；在测量所述痕量气体浓度之前，电信号控制测量部分采用校准模式对石英晶振进行校准；在测量所述痕量气体浓度时，电信号控制测量部分切换到测量模式，并根据所述石英晶振将声信号转化得到的电信号，测量所述痕量气体浓度。