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发明名称
摘要
申请公布号 FR2056639(A5) 申请公布日期 1971.05.14
申请号 FR19700028967 申请日期 1970.08.04
申请人 LEYBOLD HERAEUS VERWAL 发明人
分类号 C23C14/30;H01J37/302;H01J37/305;(IPC1-7):C23X/ 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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