一种柔性多参数传感器

摘要

本实用新型涉及一种柔性多参数传感器，属于柔性电子及传感器的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述柔性多参数传感器，包括柔性衬底，所述柔性衬底的上方设有探测敏感区，所述探测敏感区包括位于柔性衬底上方的压力敏感层、湿度敏感层及温度敏感层，所述湿度敏感层覆盖于压力敏感层上，温度敏感层覆盖于湿度敏感层上，温度敏感层上覆盖有保护层；探测敏感区内设有若干用于探测外界环境湿度的接触窗口，所述接触窗口贯通探测敏感区内相应的保护层与温度敏感层，并延伸到湿度敏感层的表面。本实用新型结构简单，能够使用卷对卷印刷法大批量制造，能探测压力、相对湿度、温度信号，适用范围广，使用方便，安全可靠。

主权项

一种柔性多参数传感器，其特征是：包括柔性衬底（7），所述柔性衬底（7）的上方设有探测敏感区，所述探测敏感区包括位于柔性衬底（7）上方的压力敏感层（6）、湿度敏感层（2）及温度敏感层（5），所述湿度敏感层（2）覆盖于压力敏感层（6）上，温度敏感层（5）覆盖于湿度敏感层（2）上，温度敏感层（5）上覆盖有保护层（13）；探测敏感区内设有若干用于探测外界环境湿度的接触窗口（9），所述接触窗口（9）贯通探测敏感区内相应的保护层（13）与温度敏感层（5），并延伸到湿度敏感层（2）的表面。