一种用于半导体制程室的移动门

摘要

本实用新型提供一种用于半导体制程室的移动门，属于半导体设备领域。所述移动门至少包括两个滑道、门板、空心密封圈以及门框；所述两个滑道间隔固定于制程室的侧壁；所述门板上下卡接于所述两个滑道内并可沿与滑道平行的方向移动；所述门框固定于制程室的侧壁；所述空心密封圈固定于所述门板的内侧四周，具有与所述门框对应的形状、大小及位置，且具有分别连接至其内部的进气管道及排气管道；所述空心密封圈充气时与所述门框密封，排气时与所述门框分离。本实用新型采用并行滑道设计的移动门，有效的改善了现有的单轴式密封门容易变形的缺陷；于门板与门框中加入了空心密封圈，有效的提高了移动门的气密性，并且解决了移动门容易被刮伤的问题。

主权项

一种用于半导体制程室的移动门，其特征在于，所述移动门至少包括两个滑道、门板、空心密封圈以及门框，其中：所述两个滑道间隔固定于所述制程室的侧壁上；所述门板上下卡接于所述两个滑道内并可沿与滑道平行的方向移动；所述门框固定于所述制程室的侧壁上，且其面积小于所述门板的面积；所述空心密封圈固定于所述门板的内侧四周，具有与所述门框对应的形状、大小及位置，且具有分别连接至其内部的进气管及排气管；所述空心密封圈充气时与所述门框密封，排气时与所述门框分离。