发明名称 LOCAL STRESS MEASUREMENT
摘要
申请公布号 EP2564155(A1) 申请公布日期 2013.03.06
申请号 EP20110775509 申请日期 2011.04.26
申请人 NANOMETRICS INCORPORATED 发明人 JOHNSON, TIMOTHY, A.;DARWIN, MICHAEL, J.
分类号 G01B11/02 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
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