遮蔽装置及具有遮蔽装置的观察窗

摘要

一种遮蔽装置，该遮蔽装置包括环形卡具、胶圈及普通玻璃，所述环形卡具外围环设有一第一凹槽，所述胶圈套设在该第一凹槽中；所述环形卡具内侧为一中空结构；及所述环形卡具内壁环设有一第二凹槽，所述普通玻璃卡设于该第二凹槽中。本发明还包括一种具有遮蔽装置的观察窗，该观察窗包括观察窗玻璃、反应室腔体及连接该观察窗玻璃和腔室的观察窗内壁，所述观察窗还包括一遮蔽装置，该遮蔽装置收容于观察窗内壁之间，并卡设于该观察窗玻璃和反应室腔体之间。利用本发明可保护PVD设备的观察窗玻璃免受沉积。

主权项

一种遮蔽装置，用于保护观察窗的观察窗玻璃免受离子沉积，其特征在于，该遮蔽装置包括环形卡具、胶圈及普通玻璃：所述环形卡具外围环设有一第一凹槽，所述胶圈套设在该第一凹槽中；所述环形卡具内侧为一中空结构；及所述环形卡具内壁环设有一第二凹槽，所述普通玻璃卡设于该第二凹槽中。