微机械压电Z轴陀螺仪

摘要

本公开提供了用于制造和使用陀螺仪的系统、方法和装置，包括编码在计算机存储介质上的计算机程序。此类陀螺仪可包括中心锚、部署在该中心锚周围的感测框架、配置成用于将该感测框架连接至该中心锚的多个感测梁和部署在该感测框架周围且耦合至该感测框架的驱动框架。该陀螺仪可包括部署在该感测框架的相对侧上的多对驱动梁。该陀螺仪可包括驱动框架悬挂，其用于基本上将该驱动框架的驱动运动限制为沿第一轴的基本线性位移的驱动运动。该感测框架可与该驱动框架的驱动运动基本上解耦。此类器件可被包括在移动设备中，诸如移动显示器设备。

主权项

一种陀螺仪，包括：中心锚；感测框架，其部署在所述中心锚周围；多个感测梁，其配置成用于将所述感测框架连接至所述中心锚；驱动框架，其部署在所述感测框架周围且耦合至所述感测框架，所述驱动框架包括第一侧和第二侧；多个驱动梁，其部署在所述感测框架的相对侧上，所述驱动梁配置成基本上在所述驱动框架的平面内在沿第一轴的第一方向上驱动所述驱动框架的所述第一侧，所述驱动梁进一步配置成在沿所述第一轴的第二且相反方向上驱动所述驱动框架的所述第二侧；驱动框架悬挂，其配置成基本上将所述驱动框架的驱动运动限制为沿所述第一轴的基本线性位移的驱动运动；以及感测框架悬挂，其配置成顺从于绕与所述第一轴正交的第二轴的旋转，所述感测框架悬挂配置成抵抗沿所述第一轴的平移运动。