发明名称 |
一种全自动上芯机的自动撑膜装置 |
摘要 |
本实用新型涉及一种全自动上芯机的自动撑膜装置,其特点在于包括饲服电机、X向运动机构、Y向运动机构、撑膜平台、气缸、撑膜环件、撑膜机件,其中Y向运动机构设置于X向运动机构上,并且X向运动机构、Y向运动机构分别各与一个饲服电机相传动连接;撑膜平台安装于Y向运动机构上;所述撑膜环件设置于撑膜平台上,撑膜平台的四周边角上分别各设置有一个气缸,撑膜机件的四周边角分别相对应地与各气缸相连接,撑膜环件的上部穿套于撑膜机件中。铺设在撑膜环件上的整张薄膜,能在全自动上芯机的协调统一控制下,利用X向运动机构、Y向运动机构带动,实现X向来回水平移动和Y向来回水平移动,以配合全自动上芯机吸取薄膜不同位置上的晶片。 |
申请公布号 |
CN202772117U |
申请公布日期 |
2013.03.06 |
申请号 |
CN201220447179.1 |
申请日期 |
2012.08.31 |
申请人 |
佛山市南海区宏乾电子有限公司 |
发明人 |
施金佑 |
分类号 |
H01L21/677(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/677(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种全自动上芯机的自动撑膜装置,其特征在于:包括饲服电机(1)、X向运动机构(2)、Y向运动机构(3)、撑膜平台(4)、气缸(5)、撑膜环件(6)、撑膜机件(7),其中Y向运动机构(3)设置于X向运动机构上,并且X向运动机构(2)、Y向运动机构(3)分别各与一个饲服电机(1)相传动连接;所述撑膜平台(2)安装于Y向运动机构(3)上;所述撑膜环件(6)设置于撑膜平台(4)上,所述撑膜平台(4)的四周边角上分别各设置有一个气缸(5),所述撑膜机件(7)的四周边角分别相对应地与各气缸(5)相连接,所述撑膜环件(6)的上部穿套于撑膜机件(7)中。 |
地址 |
528000 广东省佛山市南海区桂城街道简平路1号天安南海数码新城3栋1107室 |