| 发明名称 | 盐、光致抗蚀剂组合物和用于制备光致抗蚀剂图案的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供盐、光致抗蚀剂组合物和用于制备光致抗蚀剂图案的方法。所述光致抗蚀剂组合物包含由式(I)表示的盐和树脂，其中Q<sup>1</sup>和Q<sup>2</sup>各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，R<sup>1</sup>、R<sup>2</sup>和R<sup>3</sup>各自独立地表示氢原子或C1-C10一价脂族饱和烃基，X<sup>1</sup>和X<sup>2</sup>各自独立地表示单键、羰基或C1-C10二价脂族饱和烃基，其中氢原子可以被羟基代替，并且其中亚甲基可以被氧原子、磺酰基或羰基代替，A<sup>1</sup>表示C1-C30有机基团，ml表示1至4的整数，并且Z<sup>+</sup>表示有机阳离子，并且所述树脂难溶或不溶于碱性水溶液但是通过酸的作用可溶于碱性水溶液。<img file="DDA00001987671800011.GIF" wi="1369" he="347" /> | ||
| 申请公布号 | CN102952053A | 申请公布日期 | 2013.03.06 |
| 申请号 | CN201210280649.4 | 申请日期 | 2012.08.08 |
| 申请人 | 住友化学株式会社 | 发明人 | 增山达郎;向井优一 |
| 分类号 | C07C309/17(2006.01)I;C07C303/32(2006.01)I;C07C381/12(2006.01)I;C07D327/08(2006.01)I;C07D327/06(2006.01)I;C07D333/46(2006.01)I;C07D335/02(2006.01)I;C07D307/33(2006.01)I;C07D307/00(2006.01)I;C07C25/18(2006.01)I;C07C17/35(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | C07C309/17(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 李新红 |
| 主权项 | 1.一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含由式(I)表示的盐：<img file="FDA00001987671600011.GIF" wi="1369" he="347" />其中Q<sup>1</sup>和Q<sup>2</sup>各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，R<sup>1</sup>、R<sup>2</sup>和R<sup>3</sup>各自独立地表示氢原子或C1-C10一价脂族饱和烃基，X<sup>1</sup>和X<sup>2</sup>各自独立地表示单键、羰基或C1-C10二价脂族饱和烃基，其中氢原子可以被羟基代替，并且其中亚甲基可以被氧原子、磺酰基或羰基代替，A<sup>1</sup>表示C1-C30有机基团，ml表示1至4的整数，并且Z<sup>+</sup>表示有机阳离子；以及树脂，所述树脂难溶或不溶于碱性水溶液但是通过酸的作用可溶于碱性水溶液。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||