发明名称 |
MEMS话筒和用于制造MEMS话筒的方法 |
摘要 |
本发明涉及一种用于制造话筒的方法,其中转换器元件(WE)安装在载体(TR)上;盖板被布置在转换器元件(WE)和载体(TR)上,使得转换器元件(WE)被包围在盖板和载体(TR)之间;在载体(TR)中产生第一声进入开口(SO1);执行话筒的功能测试;第一声进入开口(SO1)被封闭;以及在盖板中产生第二声进入开口(SO2)。另外,本发明涉及一种由该方法得出的话筒,其中第一声进入开口(SO1)被预备,但是被封闭。 |
申请公布号 |
CN102958826A |
申请公布日期 |
2013.03.06 |
申请号 |
CN201180033807.X |
申请日期 |
2011.07.07 |
申请人 |
埃普科斯股份有限公司 |
发明人 |
W.帕尔;H.克吕格;G.法伊尔塔格;A.施特尔兹尔;A.莱德尔;S.赛茨 |
分类号 |
B81B7/00(2006.01)I;H04R1/04(2006.01)I |
主分类号 |
B81B7/00(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
杜荔南;刘春元 |
主权项 |
话筒‑ 具有载体(TR),‑ 具有安装在载体(TR)上的转换器元件(WE),‑ 具有盖板,其中转换器元件(WE)被包围在载体(TR)与盖板之间,‑ 具有第一声进入开口(SO1),该第一声进入开口在载体(TR)中被预备,但是被封闭,以及‑ 具有盖板中的第二声进入开口(SO2)。 |
地址 |
德国慕尼黑 |