发明名称 MEMS话筒和用于制造MEMS话筒的方法
摘要 本发明涉及一种用于制造话筒的方法,其中转换器元件(WE)安装在载体(TR)上;盖板被布置在转换器元件(WE)和载体(TR)上,使得转换器元件(WE)被包围在盖板和载体(TR)之间;在载体(TR)中产生第一声进入开口(SO1);执行话筒的功能测试;第一声进入开口(SO1)被封闭;以及在盖板中产生第二声进入开口(SO2)。另外,本发明涉及一种由该方法得出的话筒,其中第一声进入开口(SO1)被预备,但是被封闭。
申请公布号 CN102958826A 申请公布日期 2013.03.06
申请号 CN201180033807.X 申请日期 2011.07.07
申请人 埃普科斯股份有限公司 发明人 W.帕尔;H.克吕格;G.法伊尔塔格;A.施特尔兹尔;A.莱德尔;S.赛茨
分类号 B81B7/00(2006.01)I;H04R1/04(2006.01)I 主分类号 B81B7/00(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 杜荔南;刘春元
主权项 话筒‑ 具有载体(TR),‑ 具有安装在载体(TR)上的转换器元件(WE),‑ 具有盖板,其中转换器元件(WE)被包围在载体(TR)与盖板之间,‑ 具有第一声进入开口(SO1),该第一声进入开口在载体(TR)中被预备,但是被封闭,以及‑ 具有盖板中的第二声进入开口(SO2)。
地址 德国慕尼黑