发明名称 温度调节装置及应用所述温度调节装置的压印装置
摘要 本发明提供一种能将如模具或被成形物等对象物均匀且快速地加热及冷却的温度调节装置及应用所述温度调节装置的压印装置。所述温度调节装置是用于对如模具(100)或被成形物(200)等对象物的温度进行调节的温度调节装置,所述温度调节装置具有:流体供给单元(1),用于从多个供给口(11)供给预定温度的流体;保持单元(22),包含用于保持对象物的保持面(22a)和承接从供给口(11)供给的流体的流体承接面(22b);温度调节用框体(3),与保持单元(22)一同构成内含供给口(11)的温度调节室(31);及排出流路(4),用于排出温度调节室(31)内的流体。
申请公布号 CN102958658A 申请公布日期 2013.03.06
申请号 CN201180030415.8 申请日期 2011.07.20
申请人 SCIVAX股份有限公司 发明人 河口宏辅;田中觉
分类号 B29C33/02(2006.01)I;B29C59/02(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I 主分类号 B29C33/02(2006.01)I
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 代理人 赵根喜;吕俊清
主权项 一种温度调节装置,其用于调节对象物的温度的温度调节装置,其特征在于具有:流体供给单元,从多个供给口供给预定温度的流体;保持单元,包含保持所述对象物的保持面和承接从所述供给口供给的流体的流体承接面;温度调节用框体,与所述保持单元一同构成内含所述供给口的温度调节室;以及排出流路,排出所述温度调节室内的流体。
地址 日本神奈川县