一种镀膜机

摘要

本实用新型公开了一种镀膜机，包括真空腔室和设于所述真空腔室上部并由电机驱动旋转的镀膜伞，所述镀膜伞中心到边缘的不同半径的位置上设有工件放置孔，所述镀膜伞一侧中心到边缘的中间位置处下方设置有蒸发源，所述镀膜伞中心位置处设有传感器，所述传感器与精密膜厚控制仪相连，本实用新型所公开的镀膜机能够实现膜厚的高精度控制，确保膜厚的控制性能可靠稳定，而且能够控制很薄的膜层，适用范围广。

主权项

一种镀膜机，包括真空腔室和设于所述真空腔室上部并由电机驱动旋转的镀膜伞，所述镀膜伞中心到边缘的不同半径的位置上设有工件放置孔，所述镀膜伞一侧中心到边缘的中间位置处下方设置有蒸发源，其特征在于，所述镀膜伞中心位置处设有传感器，所述传感器与精密膜厚控制仪相连。