用于物质储存和分配的包装及方法

摘要

储存和分配例如用于生产微电子器件产品的高纯度液体试剂和化学机械抛光成分的物质的包装和方法，包括适于高纯度液体的压力分配的保存结构和方法。披露了液体或含液体介质的衬包装方法，其中利用零液面上空间或者近零液面上空间来最小化颗粒产生、气泡形成和所装物质降解的不利影响。

主权项

一种物质保存包装，包括：第一衬，具有适于以密封状态在其中容纳第一物质的内腔；以及第二衬，具有适于在其中容纳所述第一衬的内腔，其中所述第一和第二衬每个都具有一个允许与其内腔流体相通的附件，所述第一衬的附件可与所述第二衬的附件相连接，以形成用于所述包装的附件组件，并且用于所述包装的所述附件组件适于排空所述第二衬的在所述第二衬与所述第一衬之间的内腔，以适应物质从所述第一衬通过所述第一衬的附件的压力分配。