一种晶圆切割机去离子水流量报警装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆切割机去离子水流量报警装置，包括有塑料壳体，壳体内有一上下贯通的腔道、腔道两端设有管接头，管接头分别与去离子水的管路连通，其特征在于：所述的腔道内放置有受水冲击可上移的磁钢块，而壳体内、腔道旁侧形成有一独立的安装槽，安装槽内放置有磁控感应开关，磁控感应开关的信号线与晶圆切割机控制系统连接，这样的设计，利用水流作为感应产生信号，简单而又直接地完成对设备的监控，无需复杂、昂贵的装置，具有结构精巧简单，可靠性高，易于维护，便于推广应用等优点。

主权项

一种晶圆切割机去离子水流量报警装置，包括有塑料壳体，壳体内有一上下贯通的腔道、腔道两端设有管接头，管接头分别与去离子水的管路连通，其特征在于：所述的腔道内放置有受水冲击可上移的磁钢块，而壳体内、腔道旁侧形成有一独立的安装槽，安装槽内放置有磁控感应开关，磁控感应开关的信号线与晶圆切割机控制系统连接。