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发明名称 EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE
摘要
申请公布号 KR20130022404(A) 申请公布日期 2013.03.06
申请号 KR20127028410 申请日期 2011.04.01
申请人 CYMER, INC. 发明人 GOVINDARAJU ABHIRAM;PARTLO WILLIAM N.
分类号 H05G2/00;G03F7/20;G21K5/00;H01L21/027 主分类号 H05G2/00
代理机构 代理人
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