溅射靶结构体

摘要

本发明提供1种溅射靶结构体，该溅射靶结构体的机械加工性及热传导性优异，对钎焊材料的润湿性好，而且价格便宜，可长时间反复使用，不产生溅射靶龟裂、剥离的问题。该溅射靶结构体由溅射靶和垫板接合而成，其中，垫板由与溅射靶材料的线膨胀系数之差在2×10-6/K以下的材料构成，在垫板的至少一面配置厚度为0.3～1.5mm的铜板。

主权项

溅射靶结构体的制造方法，该溅射靶结构体由溅射靶和垫板接合而成，其中，垫板由与溅射靶材料的线膨胀系数之差在2×10‑6/K以下的材料构成，在垫板的至少一面配置厚度为0.3～1.5mm的铜板，垫板的内部存在冷却水路，且该内部存在的冷却水路为铜制或不锈钢制的管，其特征在于，垫板通过如下方法制得：将铜板安装在增强材料的烧成体上，将上面安装有铜板的增强材料的烧成体设置在高压铸造用模具内，在该模具内浇铸铝熔体、高压铸造而制得，其中，该增强材料的烧成体是将内部装有冷却水路管及增强材料浆料的模具进行热处理而得到的。