发明名称 |
波长板的制造方法 |
摘要 |
本发明制造保持高耐湿性而耐久性和稳定性优良的波长板。在基板上倾斜沉积介质材料,形成具有介质材料的微粒层叠为柱状的柱状部(12)、和设在该柱状部间的间隙部(13)的双折射层(14),在100℃以上300℃以下的温度对双折射层(14)进行退火处理。然后,通过在退火处理的双折射层(14)上高密度地形成无机化合物,形成低湿度透过性的保护膜(15)。 |
申请公布号 |
CN102959436A |
申请公布日期 |
2013.03.06 |
申请号 |
CN201180031233.2 |
申请日期 |
2011.06.23 |
申请人 |
迪睿合电子材料有限公司 |
发明人 |
小池伸幸;山田隆俊;高田昭夫;佐佐木正俊 |
分类号 |
G02B5/30(2006.01)I;B32B9/00(2006.01)I;G02F1/13363(2006.01)I |
主分类号 |
G02B5/30(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
何欣亭;王忠忠 |
主权项 |
一种波长板的制造方法,其特征在于,具有:双折射层形成工序,在基板上倾斜沉积介质材料,形成具有该介质材料的微粒层叠为柱状的柱状部和设在该柱状部间的间隙部的双折射层;退火处理工序,在100℃以上300℃以下的温度对所述双折射层进行退火处理;以及保护膜形成工序,通过在所述退火处理的双折射层上高密度地形成无机化合物,形成保护膜。 |
地址 |
日本东京都 |