发明名称 |
一种基于MEMS微镜的光学扫描装置 |
摘要 |
本发明公开了一种基于MEMS微镜的光学扫描装置。本发明的光学扫描装置包括:光学准直器和MEMS微镜,光源发出的入射光线经光学准直器准直后,由MEMS微镜反射;光源与MEMS微镜之间的光路上设置有一反射镜;该反射镜的中间部分中空或透明,可供入射光线正常通过;该反射镜的外圈为反射镜面,将MEMS微镜反射的光线反射至扫描样本。本发明有效扩展了扫描范围,并可通过反射镜镜面的设计,实现侧向圆周扫描和前向圆周扫描。相比现有技术,本发明具有更广的扫描范围,且结构简单,实现成本低廉。 |
申请公布号 |
CN102955250A |
申请公布日期 |
2013.03.06 |
申请号 |
CN201210415462.0 |
申请日期 |
2012.10.26 |
申请人 |
无锡微奥科技有限公司 |
发明人 |
谢会开;周亮;陈巧 |
分类号 |
G02B26/10(2006.01)I;G02B5/10(2006.01)I |
主分类号 |
G02B26/10(2006.01)I |
代理机构 |
南京经纬专利商标代理有限公司 32200 |
代理人 |
杨楠 |
主权项 |
一种基于MEMS微镜的光学扫描装置,包括:光学准直器和MEMS微镜,光源发出的入射光线经光学准直器准直后,由MEMS微镜反射;其特征在于,光源与MEMS微镜之间的光路上设置有一反射镜;该反射镜的中间部分中空或透明,可供入射光线正常通过;该反射镜的外圈为反射镜面,将MEMS微镜反射的光线反射至扫描样本。 |
地址 |
214028 江苏省无锡市无锡新区长江路16号软件园8905室 |