金属塑料复层式光罩

摘要

本实用新型为一种金属塑料复层式光罩，主要运用于光电产品的制造工艺中，该复层式光罩是由金属光罩及形成于该金属光罩表面的树脂层所构成，该树脂层的质地较该金属光罩软，且厚度介于0.02mm~0.06mm，该复层式光罩为一框体并具有至少一图样单元，该图样单元的轮廓形状对应于制程中欲沉积的图样，通过本实用新型的复层式光罩利用该树脂层，能在制程中的夹紧固定作业中，达到缓冲及耐磨的效果，延长该复层式光罩的替换周期及使用寿命，也能提升制造工艺的品质。

主权项

一种金属塑料复层式光罩，用于光电产品的制造工艺中，该复层式光罩为一框体，并形成有至少一个对应于欲沉积图样的图样单元，其特征在于：该金属塑料复层式光罩包括金属光罩及成型于该金属光罩表面的树脂层，该树脂层硬度低于该金属光罩，且该树脂层的厚度介于0.02mm至0.06mm。