发明名称 粘接片
摘要 半导体装置制造用粘接片1,具备:基材薄膜10、配置于基材薄膜10上的粘接层20、配置于粘接层20上并且具有露出粘接层20的开口30a的粘接层30和配置于粘接层20中从开口30a露出的部分25上的芯片接合薄膜40,芯片接合薄膜40的外周的至少一部分与粘接层30相接。
申请公布号 CN102959688A 申请公布日期 2013.03.06
申请号 CN201180027958.4 申请日期 2011.06.14
申请人 日立化成工业株式会社 发明人 中村祐树;宫原正信;片山阳二;玉置刚士;畠山惠一;池谷卓二
分类号 H01L21/301(2006.01)I;H01L21/52(2006.01)I 主分类号 H01L21/301(2006.01)I
代理机构 上海市华诚律师事务所 31210 代理人 徐申民;杜娟
主权项 一种粘接片,具备:基材、配置于所述基材上的第1粘接层、配置于所述第1粘接层上并且具有露出所述第1粘接层的开口的第2粘接层和配置于所述第1粘接层中的从所述开口露出的部分上的芯片接合薄膜,所述芯片接合薄膜的外周的至少一部分与所述第2粘接层相接。
地址 日本国东京都新宿区西新宿二丁目1番1号