垂直入射宽带偏振光谱仪和光学测量系统

摘要

本发明提供一种易于调节聚焦的、可实现无色差的、可保持偏振特性的、且结构简单的垂直入射宽带偏振光谱仪。该垂直入射宽带偏振光谱仪利用至少一个平面反射元件改变会聚光束传播方向，实现探测光束垂直入射并会聚于样品表面的垂直入射宽带偏振光谱仪。而且，该垂直入射宽带偏振光谱仪包含至少一个偏振器，从而能够测量各向异性或非均匀性样品，如包含周期性结构的薄膜的三维形貌和材料光学常数。

主权项

一种垂直入射宽带偏振光谱仪，该垂直入射宽带偏振光谱仪包括光源、分光元件、聚光单元、偏振器、第一曲面反射元件、第一平面反射元件和探测单元，其中：所述分光元件设置于所述光源和所述聚光单元之间的光路中，用于使来自光源的光束在入射至所述聚光单元之前部分地通过，以及接收从样品上反射的、且依次经过所述第一平面反射元件、所述第一曲面反射元件、所述偏振器和所述聚光单元的光束并将该光束反射至所述探测单元；所述聚光单元用于接收通过所述分光元件的光束并使该光束变成平行光束；所述偏振器设置于所述聚光单元和所述第一曲面反射元件之间，用于使所述平行光束通过并入射至所述第一曲面反射元件；所述第一曲面反射元件用于接收通过所述偏振器的平行光束并使该光束变成会聚光束；所述第一平面反射元件用于接收所述会聚光束并将所述会聚光束反射后垂直地聚焦到样品上；以及所述探测单元用于探测从样品上反射的且依次经过所述第一平面反射元件、所述第一曲面反射元件、所述偏振器和所述聚光单元并被所述分光元件反射的光束，其特征在于，所述第一平面反射元件和所述第一曲面反射元件具有相同的反射材料和镀膜结构并满足光束的入射角相同和入射平面相互垂直的条件。