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发明名称
ARRANGEMENT AND METHOD FOR MOVING A MICROSCOPIC STRUCTURE
摘要
申请公布号
EP2427792(B1)
申请公布日期
2013.03.06
申请号
EP20100719922
申请日期
2010.05.05
申请人
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人
HEIDRICH, HELMUT;LUETZOW, PETER
分类号
G02B21/32;G01N21/77;G01N33/483;G21K1/00;H05H3/04
主分类号
G02B21/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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