成膜装置、成膜装置的维护方法

摘要

本申请公开了一种成膜装置及成膜装置的维护方法。在成膜室的两侧的侧面下部分别设置有各两处、总计四处点火部。点火部在对可燃性的副生成物点火时通电。在成膜室的侧面上形成有用于测定成膜室内的压力的第一检测部。在成膜室的侧面下部形成有第二检测部。在成膜室的上部形成有测定成膜室内的空间温度的第三检测部。

主权项

一种成膜装置，其特征在于，具备：成膜室，在减压下在基板上形成被膜；点火部，对在所述成膜室内产生的可燃性的副生成物进行点火；第一气体供给部，对所述成膜室供给氧气；第二气体供给部，对所述成膜室供给氮气；以及第一检测部，测定所述成膜室内的压力。