| 发明名称 | 大直径MOCVD反应器的喷淋头 | ||
| 摘要 | 本发明的目的在于提供一种大直径MOCVD反应器的喷淋头，该喷淋头即使直径增加了，加工难度也不会明显增加。本发明的大直径MOCVD反应器的喷淋头包括III族腔、V族腔以及冷却水腔，其特征在于，III族腔、V族腔以及冷却水腔均分隔为N个腔体，N是大于等于2的自然数，每腔体均为一单体。 | ||
| 申请公布号 | CN102953050A | 申请公布日期 | 2013.03.06 |
| 申请号 | CN201110249030.2 | 申请日期 | 2011.08.26 |
| 申请人 | 杭州士兰明芯科技有限公司 | 发明人 | 徐小明;周永君;邬建伟;丁云鑫 |
| 分类号 | C23C16/455(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/455(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 喻学兵 |
| 主权项 | 大直径MOCVD反应器的喷淋头，包括III族腔、V族腔以及冷却水腔，其特征在于，III族腔、V族腔以及冷却水腔均分隔为N个腔体，N是大于等于2的自然数，每腔体均为一单体。 | ||
| 地址 | 310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发区(下沙)10大街300号 | ||