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发明名称
摘要
申请公布号
JP5156235(B2)
申请公布日期
2013.03.06
申请号
JP20060549235
申请日期
2004.09.28
申请人
发明人
分类号
H01L21/338;H01L21/306;H01L21/335;H01L29/20;H01L29/778;H01L29/812
主分类号
H01L21/338
代理机构
代理人
主权项
地址
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