一种宽带束流离子源引出电极运动控制系统

摘要

本发明公开了一种宽带束流离子源引出电极运动控制系统，包括：主控计算机(1)、光纤通信卡(2)、四轴电机运动控制卡(3)、Y1轴直流电机(4)、Y2轴直流电机(5)、Z1轴直流电机(6)、Z2轴直流电机(7)、Y1轴直线位移电位器(8)、Y2轴直线位移电位器(9)、Z1轴直线位移电位器(10)、Z1轴直线位移电位器(11)、条行引出电极(12)。其特征在于光纤通信卡(2)插在主控计算机(1)的PCI插槽上，光纤通信卡(2)和四轴电机运动控制卡(3)之间通过光纤连接传递信号，四轴电机运动控制卡(3)通过控制四个直流电机的运动，经过丝杠传动，调整引出电极在Y1轴、Y2轴、Z1轴、Z2轴四个方向的位移，从而使引出电极的引出缝和离子源腔体的引出缝在同一水平面上，并且保持平行，距离可调。

主权项

本发明提供宽带束流离子源引出电极运动控制系统，包括：主控计算机(1)、光纤通信卡(2)、四轴电机运动控制卡(3)、Y1轴直流电机(4)、Y2轴直流电机(5)、Z1轴直流电机(6)、Z2轴直流电机(7)、Y1轴直线位移电位器(8)、Y2轴直线位移电位器(9)、Z1轴直线位移电位器(10)、Z1轴直线位移电位器(11)、条行引出电极(12)。