| 发明名称 | 类金刚石膜及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明是有关于一种类金刚石(DLC)膜及其制备方法。本发明的类金刚石膜包括至少一碳数为2以上的碳化合物，该类金刚石膜所组成的原子中所含碳原子的比例为50％以上，且该类金刚石膜中的碳原子与碳原子、碳原子与氢原子、或碳原子与卤素原子之间的键结(例如：C-C、C-H、C-F或C-Cl键结)为饱和键结(即：饱和单键)的比例为80％以上。 | ||
| 申请公布号 | CN102953043A | 申请公布日期 | 2013.03.06 |
| 申请号 | CN201110303957.X | 申请日期 | 2011.09.29 |
| 申请人 | 铼钻科技股份有限公司 | 发明人 | 宋健民;甘明吉;林逸樵 |
| 分类号 | C23C16/26(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 周长兴 |
| 主权项 | 一种类金刚石膜，该类金刚石膜包括至少一碳数为2以上的碳化合物，该类金刚石膜所组成的原子中所含碳原子的比例为50％以上，且该类金刚石膜中原子之间的键结为饱和键结的比例为80％以上。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹县湖口乡 | ||