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发明名称
摘要
申请公布号
JP5158777(B2)
申请公布日期
2013.03.06
申请号
JP20070503618
申请日期
2006.02.07
申请人
发明人
分类号
H01L29/47;H01L21/28;H01L29/872
主分类号
H01L29/47
代理机构
代理人
主权项
地址
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