发明名称
摘要
申请公布号 JP5158777(B2) 申请公布日期 2013.03.06
申请号 JP20070503618 申请日期 2006.02.07
申请人 发明人
分类号 H01L29/47;H01L21/28;H01L29/872 主分类号 H01L29/47
代理机构 代理人
主权项
地址