发明名称 | 碳化硅粉末和制造碳化硅粉末的方法 | ||
摘要 | 本发明提供一种碳化硅晶体生长用碳化硅粉末和制造所述碳化硅粉末的方法。通过将硅小片(1)与碳粉末(2)的混合物(3)进行加热并其后将所述混合物粉碎而形成所述碳化硅粉末且所述碳化硅粉末基本由碳化硅构成。 | ||
申请公布号 | CN102958834A | 申请公布日期 | 2013.03.06 |
申请号 | CN201280001101.X | 申请日期 | 2012.01.26 |
申请人 | 住友电气工业株式会社 | 发明人 | 佐佐木信;井上博挥 |
分类号 | C01B31/36(2006.01)I;C30B29/36(2006.01)I | 主分类号 | C01B31/36(2006.01)I |
代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 王海川;穆德骏 |
主权项 | 一种碳化硅晶体生长用碳化硅粉末,其中,所述碳化硅粉末通过对硅小片(1)与碳粉末(2)的混合物(3)进行加热并其后将所述混合物粉碎而形成,且基本由碳化硅构成。 | ||
地址 | 日本大阪府大阪市 |