基于光纤熔锥的本征型法布里-珀罗器件及其制造方法

摘要

本发明提出一种基于光纤熔锥的本征型法布里-珀罗器件及其制造方法。本基于光纤熔锥的本征型法布里-珀罗器件包括一根光纤熔锥，其内有一个第一光纤内部反射镜和一个第二光纤内部反射镜，所述第一光纤内部反射镜和第二光纤内部反射镜分别是通过飞秒脉冲激光沿光纤熔锥的锥腰内部径向改变纤芯处的折射率形成的反射面；所述光纤熔锥直径为10～50μm；所述第一光纤内部反射镜和第二光纤内部反射镜之间的距离为50～6000μm。本器件结合了光纤熔锥的强渐逝场致高传感灵敏度特性和法布里-珀罗腔用于传感的谐振峰偏移易检测特性，提高了光纤传感器件的传感灵敏度、响应速度和可靠性。本器件的制造方法是采用光纤熔融拉锥后，用飞秒激光刻写光纤法布里-珀罗腔。而且，本发明中的器件具有结构简单稳定、成本低廉、重复性高，易于实现器件的批量加工等优点。此发明将在微型化和高灵敏度的传感领域中有广泛的应用前景。

主权项

一种基于光纤熔锥的本征型法布里‑珀罗器件，包括一根光纤熔锥，其特征在于所述光纤熔锥包含两段普通光纤（1）、两段光纤熔锥过渡区（2）、一段光纤熔锥锥腰（3）、一个第一光纤内部反射镜（4）和一个第二光纤内部反射镜（5），所述的光纤熔锥是通过把普通单模光纤熔融拉锥制成的；所述第一光纤内部反射镜（4）和第二光纤内部反射镜（5）分别是通过飞秒脉冲激光沿光纤熔锥锥腰（3）内部纤芯的径向在光纤熔锥锥腰处改变光纤的折射率形成的反射面，有效结合了光纤熔锥的强渐逝场致高灵敏度特性和法布里‑珀罗腔用于传感的谐振峰偏移易检测特性，进一步提高光纤传感器件的传感灵敏度和可靠性。