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发明名称
AUTOMATION FOR HIGH THROUGHPUT SEMICONDUCTOR BATCH-WAFER PROCESSING EQUIPMENT
摘要
申请公布号
EP2087512(B1)
申请公布日期
2013.03.06
申请号
EP20070861829
申请日期
2007.11.08
申请人
BEIJING SEVENSTAR ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
EMAMI, ARSALAN ALAN;AGAMOHAMADI, MITCH;SEDEHI, SAEED
分类号
H01L21/677
主分类号
H01L21/677
代理机构
代理人
主权项
地址
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