用以增强电桨径向分布之磁性控制的电浆限制挡件及流动等化件

摘要

本发明揭示一种具有电浆限制和电浆径向分布性能的电浆反应器。该反应器包含一反应器腔室，该反应器腔室在腔室中含有侧壁和工件支撑底座，并界定底座和侧壁之间的抽吸环和在抽吸环底部的抽吸口。该反应器进一步包含用于限制气流在轴向方向上通过抽吸环以防止电浆流到抽吸口的工具。该反应器进一步包含用于补偿由抽吸口的位移引起的在底座上气流图案的不对称性的工具。该反应器进一步包含用于控制具有固有趋势以促进边缘高电浆密度分布的电浆分布的工具。用于限制气流的工具充分降到工件支撑下面，以补偿用于控制电浆分布的工具的边缘高电浆分布趋势。